tzxnef一般氧气含量小于0.5ppm，水分含量小于1ppm，这样稳定的氩气可以保障生产出来的晶体质量。
关于成都氩气提纯的方法。
直接脱氧法。它是利用活性金属与氩气中的氧气发生反应来消化氩气中的氧气，从而达到脱氧的目的。分子筛吸收氩气中的水，使氩气的含水量小于1ppm。
等离子清洗机通常使用许多不同的气体，如氧气、氢气、氮气、压缩空气或氩气。那么为什么要使用这种气体，它在等离子清洗机设备中的作用是什么？
氩是惰性气体，离子化的等离子体不会与衬底发生化学反应。在等离子体清洗中，氩气主要用于基片表面的物理清洗和表面粗糙化。因此，氩等离子清洗机广泛应用于半导体行业、微电子行业和晶圆制造行业。
氩气泄漏的处理措施。
迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。